光刻、匀胶区 | ISO 3级 |
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 | ISO 3级 |
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 | ISO 5级 |
光刻、匀胶区 | ISO 3级 |
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 | ISO 4级 |
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 | ISO 6级 |
清洗、涂胶、曝光间 | ISO 4级 |
显影、刻蚀间 | ISO 5级 |
成盒间 | ISO 5级 |
溅射、CVD间 | ISO 6级 |
涂布头 | ISO 5级 |
备件、切带、带基、测试、涂布间和烘干、固化间 | ISO 6级 |
组装、维修间和部分原料库 | ISO 7级 |
砂磨、化验间和配件间 | ISO 8级 |
装配间 | ISO 6级 |
轴承加工间 | ISO 5级 |
流延机头部,涂布机头部 | ISO 5级 |
涂布室,流延机室 | ISO 5级 |